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工業(yè)型原子力顯微鏡

型 號(hào)FM-NanoviewLS-AFM

更新時(shí)間2024-01-15

所屬分類工業(yè)型原子力顯微鏡

訪問次數(shù)4891

產(chǎn)品描述:工業(yè)型原子力顯微鏡 FM-NanoviewLS-AFM◆ 實(shí)現(xiàn)樣品保持不動(dòng),探針移動(dòng)掃描的原子力顯微鏡;◆ 采用閉環(huán)三軸獨(dú)立壓電平移式掃描器,大范圍高精度掃描;◆ 樣品尺寸、重量基本不受限制,特別適合集成電路晶圓等超大樣品檢測(cè);◆ 龍門架式掃描頭設(shè)計(jì),大理石底座,真空吸附式載物臺(tái);◆ 超大行程二維電動(dòng)樣品移動(dòng)臺(tái),快速選擇感興趣的樣品區(qū)域;◆ 高倍光學(xué)定位系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)探針

產(chǎn)品概述

工業(yè)型原子力顯微鏡 
FM-NanoviewLS-AFM
◆ 實(shí)現(xiàn)樣品保持不動(dòng),探針移動(dòng)掃描的原子力顯微鏡;
◆ 采用閉環(huán)三軸獨(dú)立壓電平移式掃描器,大范圍高精度掃描;
◆ 樣品尺寸、重量基本不受限制,特別適合集成電路晶圓等超大樣品檢測(cè);
◆ 龍門架式掃描頭設(shè)計(jì),大理石底座,真空吸附式載物臺(tái);
◆ 超大行程二維電動(dòng)樣品移動(dòng)臺(tái),快速選擇感興趣的樣品區(qū)域;
◆ 高倍光學(xué)定位系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)探針

工業(yè)型原子力顯微鏡技術(shù)參數(shù)

◆ 基本工作模式:接觸、輕敲、F-Z力曲線測(cè)量、RMS-Z曲線測(cè)量、摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力和靜電力
◆ 選配工作模式:Profile線快速測(cè)量模式
◆ 最大樣品尺寸:Φ≥300mm,H≥50mm
◆ 閉環(huán)掃描范圍:XY向100um,Z向10um
◆ 閉環(huán)掃描分辨率:XY向0.2nm,Z向0.05nm
◆ 樣品移動(dòng)范圍:300mm×300mm
◆ 輔助光學(xué)定位:10X物鏡,光學(xué)分辨率1um(可選配20X,光學(xué)分辨率0.8um)
◆ 氣動(dòng)式減震臺(tái),減震頻率0.5Hz
◆ 噪音水平:<0.1nm
◆ 掃描速率0.6Hz~4.34Hz,掃描角度0~360°
◆ 掃描控制:XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
◆ 數(shù)據(jù)采樣:14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
◆ 反饋方式:DSP數(shù)字反饋
◆ 反饋采樣速率:64.0KHz
◆ 通信接口:USB2.0/3.0
◆ 運(yùn)行環(huán)境:WindowsXP/7/8/10操作系統(tǒng)

 

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